微波光電導(dǎo)載子復(fù)合壽命測(cè)試儀/少子壽命測(cè)試儀　型號(hào)：HAD-100A

HAD-100A型微波光電導(dǎo)載子復(fù)合壽命測(cè)試儀是參照半導(dǎo)體設(shè)備和材料際組織SEMI標(biāo)準(zhǔn)MF1535-0707及家標(biāo)準(zhǔn)GB/T 26068-2010制。并且我單位是微波反射法家標(biāo)準(zhǔn)起草單位之。本設(shè)備采用微波反射無(wú)接觸光電導(dǎo)衰退測(cè)量方法，適用于厚度為1mm以下的硅片、電池片少數(shù)載子壽命的測(cè)量，提供無(wú)接觸、無(wú)損傷、數(shù)字顯示的快速測(cè)量。壽命測(cè)量可靈敏地反映半導(dǎo)體重金屬污染及缺陷存在的情況，是半導(dǎo)體質(zhì)量的重要檢測(cè)項(xiàng)目。

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